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中瑞祥电阻电离复合真空计操作使用

2026年07月28日 15:09:48人气:16来源:

中瑞祥电阻电离复合真空计操作使用

通过电阻规(低真空)电离规(高真空)组合,实现从大气压到高真空的连续测量。其核心原理基于气体热传导特性与气体分子电离效应。‌‌

一、工作原理

1. 电阻真空计部分(低真空测量)

物理基础:利用低压下气体的热传导系数与压强成正比的特性。

工作机制:规管内金属热丝通以恒定电流保持温度恒定(定温式)。当气体压强降低时,气体分子带走的热量减少,为维持热丝温度恒定,供电电路需自动降低加热功率(或表现为热丝端电压/电流变化)。

信号转换:通过测量补偿热丝温度所需的电压或电流变化,经微处理器非线性修正后,换算出对应的气体压强。测量范围通常为 1.0 imes 10^5 /sim 1.0 imes 10^1.0×10

5

1.0×10

1

Pa‌‌

2. 热阴极电离真空计部分(高真空测量)

物理基础:利用电子轰击气体分子产生离子的电离效应

工作机制

电子发射:灯丝(阴极)通电加热发射电子。

加速与碰撞:电子在正电压栅极(加速极)作用下加速,与气体分子碰撞使其电离,产生正离子。

离子收集:负电压收集极吸引正离子,形成离子流 (I_+I

+

)

定量关系:在发射电流 (I_eI

e

) 和规管灵敏度 (KK) 恒定时,离子流与气体压强 (PP) 成正比,即 I_+ = K /cdot I_e /cdot PI

+

=KI

e

P。通过测量微弱的离子流即可确定压强。测量范围通常为 1.0 imes 10^ /sim 1.0 imes 10^1.0×10

1

1.0×10

5

Pa‌‌

二、操作使用逻辑

现代智能复合真空计通常采用微处理器控制,具备自动切换功能:

自动模式(推荐)

开机后,电阻单元首先工作,测量从大气压到低真空段。

当电阻计测得压强低于设定阈值(如 1.0 /sim 101.010 Pa,具体视型号而定)时,仪器自动点亮电离规灯丝,切换至电离单元进行高真空测量。

若系统压强回升超过安全阈值(如 >10>10 Pa),仪器自动关闭电离灯丝,防止灯丝在低真空下氧化烧毁。‌‌

手动模式

用户可独立控制电阻计和电离计的开关。

严禁在压强高于安全值(通常 >10>10 Pa)时手动开启电离计,否则会导致灯丝瞬间烧毁。‌‌

校准与维护

零点/满度校准:电阻规需定期在大气压(满度)和高真空状态(零点)下进行校准,以消除漂移。

除气操作:电离规在使用前或读数不稳定时,可进行“除气"(加热灯丝去除吸附气体),但需在压强低于 1.0 imes 10^1.0×10

2

Pa 时进行,且时间不宜过长。‌‌

三、关键注意事项

保护机制:避免在大气压下开启电离规灯丝。

气体成分影响:电阻规对不同气体的热导率敏感度不同,非空气/氮气环境需修正;电离规易受腐蚀性气体或油蒸气污染导致中毒"

安装位置:电阻规与电离规应尽量安装在同一真空室且无阀门阻隔的位置,以确保测量数据的一致性。‌‌

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